MICRONANO – Processi di micro- e nano- fabbricazione avanzata
Codice Progetto: DM28486
Avviso: D.M. 593/2000 art. 13
Finanziatore: Ministero dell’Istruzione, dell’Università e della Ricerca (D.M. 921/Ric. del 17/05/2006)
Periodo: Marzo 2006 – Febbraio 2010
Budget: € 6.245.000,00
Processi di micro- e nano- fabbricazione avanzati per la realizzazione di dispositivi o apparati funzionali per applicazioni nel campo dell’elettronica, della fotonica, della micromeccanica e della biosensoristica.
Attività di ricerca industriale per:
– Sviluppo di materiali e tecnologie per la realizzazione di sensori ed attuatori MEMS basati su thin-film piezoelettrici e piezoresistivi.
– Realizzazione di un prototipo di microcitofluorimetro per applicazioni di screening biologici.
– Realizzazione di singoli dispositivi e network per elettronica molecolare e bioelettronica, per applicazioni nel campo della computazione molecolare e della biosensoristica avanzata.
– Sviluppo di litografie alternative.
PARTNERS:
– DHITECH SCARL (Soggetto Beneficiario)
– STMicroelectronics SRL (Soggetto Attuatore)
– CNR-Consiglio Nazionale delle Ricerche (Soggetto Attuatore)
– Università del Salento (Soggetto Attuatore)